Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy (EDS)
Energy Dispersive Spectroscopy (EDS-Analyse) ist in Verbindung mit dem Rasterelektronenmikroskop (SEM) bietet die Chemische Analyse in Bereichen, die kleiner als 1 µm im Durchmesser. EDS erkennt alle Elemente außer H, He, Li und Be. EDS kann genau an beliebigen Merkmalen oder Partikeln durchgeführt werden, die in den SEM-Bildern zu sehen sind, und kann Elemente auf einer Oberfläche „ABBILDEN“. Unbekannte Materialien können identifiziert und quantitative Analysen durchgeführt werden.,
Energy Dispersive Spectroscopy (EDS)
EDS, auch Energy Dispersive X-ray Spectroscopy (EDX) genannt, ist eine Technik, die auf der sammlung und Energiedispersion von Röntgenstrahlen, die entstehen, wenn hochenergetische Elektronen eine Probe bombardieren. Das EDS ist am Rasterelektronenmikroskop (REM) befestigt und die beiden Techniken werden häufig zusammen verwendet. Die Röntgenstrahlen haben Energien, die für die Elemente in der Probe charakteristisch sind.,
Die Elektronik des Instruments verarbeitet die Signale, um Histogramme von Energie vs. Signalstärke zu geben, wobei letzteres mit der relativen Konzentration zusammenhängt. Die EDS-Analyse kann auch Elementkarten der Probe liefern, die mit den Elektronenmikrographen verglichen werden können. Die Methode erkennt alle Elemente von Bor bis Uran und ist normalerweise zerstörungsfrei. Nachweisgrenzen reichen von 0,05-2% für hohe bzw. niedrige Z-Elemente. Eigenschaften so klein wie 1 µm. EDS eignet sich besonders gut, um die Elementzusammensetzung mit topographischen Merkmalen in Beziehung zu setzen.