Energidispersiv röntgenspektroskopi (EDS)
Energidispersiv spektroskopi (Eds-analys) används tillsammans med Skanningselektronmikroskopet (SEM) som tillhandahåller kemisk analys i områden som är så små som 1 µm i diameter. EDS upptäcker alla element utom H, He, Li, och Be. EDS kan utföras exakt på alla funktioner eller partiklar som ses i SEM-bilderna och kan ”kartlägga” element på en yta. Okända material kan identifieras och kvantitativ analys kan utföras.,
Energidispersiv spektroskopi (EDS)
EDS, även kallad Energy Dispersive X-ray Spectroscopy (EDX), är en teknik baserat på insamling och energidispersion av röntgenstrålar skapas när hög energi elektroner bombardera ett prov. EDS är fäst vid Skanningselektronmikroskopet (SEM) och de två teknikerna används ofta tillsammans. Röntgenstrålarna har energier som är karakteristiska för elementen i provet.,
instrumentets Elektronik bearbetar signalerna för att ge histogram av energi vs signalstyrka, den senare är relaterad till relativ koncentration. Eds-analys kan också ge elementära kartor över provet som kan jämföras med elektronmikrograferna. Metoden detekterar alla element från Bor till uran och är vanligtvis icke-förstörande. Detektionsgränser varierar från 0,05-2% för höga till låga Z-element. Har så liten som 1 µm. EDS är särskilt bra för att relatera elementär komposition till topografiska egenskaper.