spectroscopia cu raze X Dispersive energetice (EDS)
spectroscopia dispersivă energetică (analiza EDS) este utilizată împreună cu microscopul electronic de baleiaj (sem), oferind analize chimice în zone cu diametrul de 1 µm. EDS detectează toate elementele, cu excepția H, He, Li și Be. EDS poate fi realizată exact pe orice caracteristici sau particule observate în imaginile SEM și poate” harta ” elemente pe o suprafață. Se pot identifica materiale necunoscute și se poate efectua o analiză cantitativă.,
Dispersie de Energie Spectroscopie (EDS)
EDS, de asemenea, numit Energy Dispersive X-ray Spectroscopy (EDX), este o tehnică bazată pe colectarea și energiei de dispersie de raze-X-a creat atunci când ridicat de energie electronii bombardează un eșantion. EDS este atașat la microscopul electronic de baleiaj (Sem) și cele două tehnici sunt adesea folosite împreună. Razele X au energii caracteristice elementelor din eșantion.,
electronica instrumentului procesează semnalele pentru a da histograme de energie vs. puterea semnalului, aceasta din urmă fiind legată de concentrația relativă. Analiza EDS poate oferi, de asemenea, hărți elementare ale probei care pot fi comparate cu micrografele electronice. Metoda detectează toate elementele de la bor la uraniu și este de obicei nedistructivă. Limitele de detecție variază de la 0,05-2% pentru elementele Z înalte până la joase. Caracteristici la fel de mici ca 1 µm. EDS este deosebit de bun pentru corelarea compoziției elementare cu caracteristicile topografice.