Spektroskopia rentgenowska rozproszona energii (EDS)

Spektroskopia rozproszona energii (EDS Analysis) jest stosowana w połączeniu ze skaningowym mikroskopem elektronowym (sem) zapewniającym analizę chemiczną w obszarach o średnicy zaledwie 1 µm. EDS wykrywa wszystkie elementy z wyjątkiem H, He, Li I Be. EDS można wykonać dokładnie na dowolnych cechach lub cząstkach widocznych na zdjęciach SEM i może „mapować” elementy na powierzchni. Można zidentyfikować nieznane materiały i przeprowadzić analizę ilościową.,

Spektroskopia dyspersyjna energii (EDS)

EDS spektroskopia rentgenowska (ang. energy dispersive X-ray spectroscopy, edx)-technika polegająca na gromadzeniu i rozpraszaniu energii promieniowania rentgenowskiego powstałego podczas bombardowania próbki przez elektrony o wysokiej energii. EDS jest dołączony do skaningowego mikroskopu elektronowego (SEM) i te dwie techniki są często stosowane razem. Promienie rentgenowskie mają Energie charakterystyczne dla pierwiastków w próbce.,
Elektronika przyrządu przetwarza sygnały, dając histogramy energii i siły sygnału, przy czym te ostatnie są związane ze względnym stężeniem. Analiza EDS może również dostarczyć mapy elementarne próbki, które mogą być porównane do mikrografów elektronowych. Metoda ta wykrywa wszystkie pierwiastki od boru do uranu i jest zwykle nieniszcząca. Limity detekcji wahają się od 0,05-2% odpowiednio dla elementów z wysokiego i niskiego poziomu. Cechy tak małe, jak 1 µm. EDS jest szczególnie dobry w odniesieniu składu pierwiastkowego do cech topograficznych.