energie dispersieve X-Ray spectroscopie (EDS)
energie dispersieve spectroscopie (EDS-analyse) wordt gebruikt in combinatie met de Scanning elektronenmicroscoop (SEM) die chemische analyse levert in gebieden met een diameter van 1 µm. EDS detecteert alle elementen behalve H, He, Li en Be. EDS kan precies worden uitgevoerd op alle functies of deeltjes die in de SEM-beelden worden gezien en kunnen elementen op een oppervlak” in kaart brengen”. Onbekende materialen kunnen worden geïdentificeerd en kwantitatieve analyse kan worden uitgevoerd.,
Energy Dispersive Spectroscopy (EDS)
EDS, ook wel Energie Dispersieve X-ray Spectroscopie (EDX), is een techniek gebaseerd op het verzamelen en energie dispersie van X-stralen gemaakt bij hoge energie elektronen bombarderen van een steekproef. EDS is verbonden aan de Scanning elektronenmicroscoop (SEM) en de twee technieken worden vaak samen gebruikt. De röntgenstralen hebben energieën die kenmerkend zijn voor de elementen in de steekproef.,de elektronica van het instrument verwerkt de signalen om histogrammen van energie versus signaalsterkte te geven, waarbij de laatste gerelateerd is aan de relatieve concentratie. De analyse van EDS kan elementaire kaarten van de steekproef ook verstrekken die met elektronenmicrographs kunnen worden vergeleken. De methode detecteert alle elementen van boor tot uranium en is meestal niet-destructief. Detectielimieten variëren van 0,05-2% voor respectievelijk hoge tot lage z-elementen. Kenmerken zo klein als 1 µm. EDS is vooral goed voor het relateren van elementaire samenstelling aan topografische kenmerken.