Spettroscopia a raggi X dispersiva di energia (EDS)
La spettroscopia dispersiva di energia (analisi EDS) viene utilizzata in combinazione con il microscopio elettronico a scansione (SEM) che fornisce analisi chimiche in aree di 1 µm di diametro. EDS rileva tutti gli elementi ad eccezione di H, He, Li e Be. L’EDS può essere eseguito esattamente su qualsiasi caratteristica o particella vista nelle immagini SEM e può “MAPPARE” gli elementi su una superficie. I materiali sconosciuti possono essere identificati e l’analisi quantitativa può essere eseguita.,
Spettroscopia a Dispersione di Energia (EDS)
EDS, detto anche Energy Dispersive X-ray Spectroscopy (EDX), è una tecnica che si basa sulla raccolta e dispersione di energia a raggi X, creato quando l’alta energia di elettroni bombardare un campione. L’EDS è collegato al microscopio elettronico a scansione (SEM) e le due tecniche sono spesso utilizzate insieme. I raggi X hanno energie che sono caratteristiche degli elementi nel campione.,
L’elettronica dello strumento elabora i segnali per fornire istogrammi di energia rispetto alla potenza del segnale, quest’ultimo correlato alla concentrazione relativa. L’analisi EDS può anche fornire mappe elementali del campione che possono essere confrontate con i micrografi elettronici. Il metodo rileva tutti gli elementi dal boro all’uranio e di solito non è distruttivo. I limiti di rilevamento vanno rispettivamente dallo 0,05 al 2% per gli elementi Z da alti a bassi. Caratteristiche piccole come 1 µm. EDS è particolarmente utile per mettere in relazione la composizione elementare con le caratteristiche topografiche.