Energia Diszperzív X-Ray Spektroszkópia (EDS)
Energia Diszperzív Spektroszkópia (EDS Elemzés) együtt alkalmazzák a Pásztázó elektronmikroszkóp (SEM), amely kémiai elemzés területeken kisebb, mint 1 µm átmérőjű. Az EDS minden elemet érzékel, kivéve a H, He, Li és Be elemet. EDS lehet végezni pontosan olyan funkciók vagy részecskék látható a SEM képeket, és lehet “térkép” elemek a felületen. Ismeretlen anyagok azonosíthatók, kvantitatív elemzést lehet végezni.,
Energia Diszperzív Spektroszkópia (EDS)
EDS, más néven Energia Diszperzív X-ray Spektroszkópia (EDX), egy technika alapján gyűjtemény, valamint az energia szórása X-sugarak jönnek létre, amikor a nagy energiájú elektronok bombázzák egy minta. Az EDS a pásztázó Elektronmikroszkóphoz (SEM) kapcsolódik, a két technikát gyakran együtt használják. A röntgensugarak olyan energiákkal rendelkeznek, amelyek jellemzőek a minta elemeire.,
a műszer elektronikája a jeleket úgy dolgozza fel, hogy hisztogramot adjon az energia vs.jelerősség, az utóbbi a relatív koncentrációhoz kapcsolódik. Az EDS analízis a minta elemi térképeit is biztosítja, amelyek összehasonlíthatók az elektron mikrográfokkal. A módszer a bórtól az uránig minden elemet detektál, és általában roncsolásmentes. Az észlelési határértékek 0,05-2% között vannak a magas vagy alacsony Z elemeknél. Olyan kicsi, mint 1 µm. Az EDS különösen alkalmas az elemi összetétel topográfiai jellemzőkhöz való kapcsolására.