Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy (EDS)
Energy Dispersive Spectroscopy (EDS Analysis) se utiliza junto con el microscopio electrónico de barrido (SEM) que proporciona análisis químicos en áreas tan pequeñas como 1 µm de diámetro. EDS detecta todos los elementos excepto H, He, Li y Be. EDS se puede realizar exactamente en cualquier entidad o partícula vista en las imágenes SEM y puede «mapear» elementos en una superficie. Se pueden identificar materiales desconocidos y realizar análisis cuantitativos.,
espectroscopia dispersiva de energía (EDS)
EDS, también la espectroscopia de rayos X dispersiva de energía (edX) es una técnica basada en la recolección y dispersión de energía de rayos X creada cuando electrones de alta energía bombardean una muestra. El EDS está unido al microscopio electrónico de barrido (SEM) y las dos técnicas se utilizan a menudo juntas. Los rayos X tienen energías que son características de los elementos de la muestra.,
La electrónica del instrumento procesa las señales para dar histogramas de energía vs. Fuerza de la señal, esta última relacionada con la concentración relativa. El análisis EDS también puede proporcionar mapas elementales de la muestra que se pueden comparar con las micrografías electrónicas. El método detecta todos los elementos del boro al uranio y es generalmente no destructivo. Los límites de detección oscilan entre 0,05 y 2% para elementos Z de alta a baja, respectivamente. Características tan pequeñas como 1 µm. EDS es particularmente bueno para relacionar la composición elemental con las características topográficas.