Energetické Disperzní rentgenové Spektroskopie (EDS)
Energetické Disperzní Spektroskopie (EDS Analýza) se používá ve spojení s rastrovacím Elektronovým Mikroskopem (SEM) poskytování chemické analýzy v oblastech, jako malé jako 1 µm v průměru. EDS detekuje všechny prvky kromě H, on, Li, a být. EDS lze provádět přesně na všech funkcích nebo částicích viděných v SEM obrazech a může“ mapovat “ prvky na povrchu. Lze identifikovat neznámé materiály a provést kvantitativní analýzu.,
energeticky disperzní spektroskopie (EDS)
EDS, také volal energie disperzní rentgenová spektroskopie (EDX), je technika založená na sběru a energetické disperze rentgenových paprsků vytvořených při vysoké energetické elektrony bombardovat vzorek. EDS je připojen ke Skenovacímu elektronovému mikroskopu (SEM) a obě techniky se často používají společně. Rentgenové paprsky mají energie, které jsou charakteristické pro prvky ve vzorku.,
elektronika přístroje zpracovává signály tak, aby dávaly histogramy energie vs. síly signálu, přičemž tyto signály souvisejí s relativní koncentrací. Analýza EDS může také poskytnout elementární mapy vzorku, které lze porovnat s elektronovými mikrografy. Metoda detekuje všechny prvky od boru po Uran a je obvykle nedestruktivní. Detekční limity se pohybují od 0,05-2% pro vysoké až nízké prvky Z. Funkce tak malé jako 1 µm. EDS je zvláště vhodný pro vztah elementární kompozice k topografickým rysům.